有机EL蒸镀装置中导入真空直线伺服马达来提高质量

有机EL显示器的真空蒸镀装置在工件搬运时曾存在速度稳定问题和其他各种课题,但通过导入真空直线伺服马达解决了这些问题。

客户的
烦恼

在真空蒸镀装置中,使用齿轮齿条进行工件搬运时,除了速度不稳定外,还存在着噪音、粉尘污染和维护等诸多课题。

NIKKI的
解决方案

通过引入运用真空适配技术经验开发的真空直线伺服马达,有效降低了噪音并提升了运行稳定性,从而实现了均匀稳定的蒸镀效果。

【课题】希望解决真空蒸镀装置在工件搬运时发生的速度不均和噪音等多个课题

有机EL显示器的有机溶剂真空蒸镀装置中,工件搬运采用齿轮齿条系统,在速度稳定性方面曾存在问题。齿轮齿条系统虽然结构简单且成本低,便于导入,但其金属齿接合处会产生粉尘和噪音,与此相伴的频繁的维护导致装置停机,曾面临涉及生产效率的多个课题。因此,客户希望通过导入真空适配直线伺服马达的装置来解决这些问题,并向具备丰富真空技术经验的本公司进行了相关咨询。

【提案与解决方案】通过导入真空直线伺服马达来降低噪音,提高动作稳定性

通过将原有的齿轮齿条系统更换为真空直线伺服马达,不仅降低了噪音,还提高了动作稳定性。导入真空直线伺服马达需要具备能够耐受真空条件的结构设计和材质选定等特殊技术。本公司至今为止所培养的包括技术知识在内的产品质量,以及交货后细致入微的跟进体制赢得了客户的信任并促成了此次签约。针对真空条件的具体挑战,我们采取了相关的具体对策,其中包括因马达发热问题导入水冷系统及优化配管设计、防止真空环境中部件变形的螺钉固定改良、以及应对超出预期推力需求的运行条件和使用方法的提案等,此外,我们还进行了详尽的调整和维护。这种与客户共同制作装置的合作姿态,进一步提高了客户的满意度。

被客户采用的关键点

  • 真空直线伺服马达的高生产效率
  • 本公司具有的包括真空直线伺服马达技术知识在内的产品质量
  • 交货后细致入微的跟进体制

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