製品ラインアップ

リニアステージ

カスタムメイド対応
セミカスタムメイドステージ
τリニアステージをベースに以下の項目をカスタムメイドいたします。
  • ストローク、リニアモータ、リニアスケール、標準対応外θ軸、リニアガイド、原点位置
    テーブル/ベース取付穴、表面処理、材料、トップテーブルサイズ、ケーブルベアなどの変更
  • 機械精度/動的精度の更なる精度アップ
カスタムメイドステージ
マルチヘッドステージ、ロングストロークステージ、架台付きステージなど特殊仕様ステージに対応いたします。
ウエハ検査用XYステージ画像
ウエハ検査用XYステージ特長
  • 天地逆さま取り付け仕様
  • 直角度：2.5μm
  • X軸真直度：(垂直)0.8μm、(水平)0.7μm
  • Y軸真直度：(垂直)1.2μm、(水平)0.7μm
Xθ2ヘッドステージ 製品画像
Xθ2ヘッドステージ 特長
  • 平行度：6μm
  • 真直度：(垂直)1μm、(水平)3.5μm
動作角度限定アライメントステージ製品画像
動作角度限定アライメントステージ特長
  • 円弧型リニアサーボモータ『サーボコンパス』を搭載
  • サーボコンパス
    円弧型マグネットベースの連結で、位置決め動作角度に応じた駆動システムの構築が可能。外周上にエンコーダセンサを取り付けるため、高精度位置決めが可能
プレス送り用高精度X軸ステージ製品画像
プレス送り用高精度X軸ステージ特長
  • ストローク：400mm
  • 位置決め精度：0.2μm
  • 繰返し位置決め精度：±0.1μm
  • 真直度：（垂直)1.5μm、(水平)2.5μm
X軸ガントリステージ＋ガントリ制御システム/Y軸3ヘッドステージ製品画像
X軸ガントリステージ＋ガントリ制御システム/Y軸3ヘッドステージ特長
  • ガントリ同期精度：サーボロック時 0.1μm
                                        100mm/sec走行時 0.7μm
  • 日機電装のガントリ同期制御システム
    同期する2軸を1軸として管理可能な高精度同期制御システム

その他、お客様のご要望に合わせた様々なカスタムメイド対応をしております。
弊社営業員にお気軽にお問い合わせください。